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六氟化硫因上述及其它优良特性，近年来被广泛用于电力、电子、电气行业和激光、医疗、气象、制冷、消防、化工、军事、宇航、有色冶金、物理研究等。
六氟化硫的应用
采矿工业用作反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧
 用作六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体电子级
高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，
广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝脏**的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途